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真空炉用各种加热材料的性能见下表：
材料 | 最高使用温度，℃ | 熔点，℃ | 密度，g/cm3 | 电阻率，μΩ*cm |
钨 | 2750 | 3400 | 19.6 | 5.5 |
钽 | 2600 | 3000 | 16.6 | 12.4 |
钼 | 2100 | 2630 | 10.2 | 5 |
石墨 | 2300 | 3850 | 2.24 | 900 |
镍铬铁合金 | 1150 | 1400 | 8.4 | 108 |
铬铁 | 1200 | 1495 | 7.2 | 140 |
钽A-1250 | 1100 | 1510 | 7.2 | 147 |
钽A | 1200 | 1510 | 7.15 | 139 |
钽A-1 | 1250 | 1510 | 7.1 | 145 |
派罗马克斯热合金C | 1250 | 1490 | 7 | 165 |
派罗马克斯热合金D | 1100 | 1500 | 7.16 | 140 |
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