各种材料适用的真空度

10⁵~10²

10²~10^-1

10^-1~10^-3

10^-3~10^-5

10^-5~10^-9

钢

√

√

√

除气、表面处理

不锈钢

铁、铸铜

√

√

×

×

×

铸铝

√

√

×

×

×

铜及合金

√

√

√

除气

无氧铜

镍及合金

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√

√

√

玻璃石英

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除气、厚壁

陶瓷

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专用类型

云母

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√

除气

除气

不用

橡胶

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√

√

可用

×

塑料、电木

√

√

专门型号

仅聚四氟乙烯

不用