真空系统中的常用材料

壳体、管路、阀、内部零件

普通碳素钢、不锈钢

不锈钢、钛、高纯铝

密封垫圈

丁基橡胶、氟塑料

氟橡胶、氟塑料、铜、金、银、铟

导电体

铜、不锈钢、铝

铜、不锈钢

绝缘体

酚醛、氟塑料、玻璃、陶瓷

玻璃、致密高铝瓷等

视窗

玻璃

硼硅玻璃、透明石英玻璃

润滑剂

低蒸气压的油及脂

二硫化钼、镀银或金

加热元件

镍铬铁合金、钨、钼、钽、碳布

钨、铬、钨铼合金、石墨碳纤维