观察窗用来监视真空室(真空容器)内部的生产情况(如观测温度、试料状态等)或传输光源。根据密封型式,观察窗可分为可拆连接和不可拆连接。前者用于高真空和低真空,后者用于超高真空系统。
在不可拆连接中,用无氧高导铜和玻璃的不匹配封接或者使用可伐与玻璃的匹配封接,两者都能承受300-450℃的高温烘烤。
真空度要求不太高的地方,可用透明有机玻璃板替代玻璃板。传播光线的观察窗材料可采用光学玻璃或熔石英等。石英玻璃用在高温炉上,为了预防橡胶密封圈过热,法兰要用水管冷却。为了防止某些金属蒸镀到玻璃片上,可装设挡片或擦拭片。
(慧朴科技,huiputech)
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