真空电极引入

    在真空室中有许多工艺需要向该室引入电极。通常做成电极导入部件(包括电极结构、引入导线)，利用真空静密封与真空室连接。这些导线与导线之间、导线与真空室壁之间应当满足电绝缘、真空密封和承受一定的电流负荷。

    电极引入线、电极密封材料的选择取决于工作电压、电流、频率、温度等，通常电极引入线分为永久密封电极引入线和可拆密封电极引入线。前者用于高温可烘烤与各种真空测量规管中，后者用于一般高真空抽气系统中。

    永久密封电极引入线采用玻璃金属封接或陶瓷金属封接，根据外形分为杆密封、芯柱密封、带状密封、盘形密封和杯形密封等。

    强电流或高压引入线通常将两种密封形式结合使用。引入线和玻璃(或陶瓷)采用永久封接，封好的电极引线和电空室(管道)的密封采用可拆(或半可拆封蜡)密封。

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