真空设备为了隔绝大气,它的各个零、部件的连接处,电源和信号的引入部、转动轴观察窗、大门、环境模拟的热沉端部及盖板等都应有可靠的真空密封。真空设备所用的密封性能是真空设备的重要指标之一,要求通过各种密封途径将漏气率限制在允许的范围内。为了确保真空设备要求的指标,就必须正确地设计各种密封结构,选择适当的密封材料是保证质量的关键之一。
真空设备的真空密封通常可分为半永久性密封(或可拆卸密封)和永久性密封(不可拆卸密封)两类,而半永久密封又分为静密封和动密封两种。
半永久性密封(可拆卸密封)系指真空系统所用的零、部件可用橡胶管、波纹管、快卸法兰、橡胶圈(或垫)塑料、软金属等连接起来进行抽气,这都属于半永久性密封。
相反地,使用的零、部件是一个整体而不可拆卸的属于永久性密封。
(慧朴科技,huiputech)
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