真空电传导结构应注意的问题

    为了给真空室中工作的机构供电，需采用真空电传导结构，电传导电极引入导线与导线之间、导线与真空室壁之间应该满足的电绝缘、真空密封和承受一定的电流负荷要求。

    电极及电极密封材料的选取取决于工作电压、电流、频率温度等；电传导结构形式的选择取决于设备的工作压力范围。根据电传导结构的用途不同可分为：低压小电流引入结构、低压大电流引入结构和高压引入结构等。

    在设计和确定电传导结构时应该注意以下问题：

    (1)引入线截面积应根据通过电流及所选材料来确定。不同材料允许通过的最大电流不同。所选择的引入线截面积应大于理论计算值。

    (2)根据引入线的工作电压不同，选择不同的绝缘材料，并计算出绝缘厚度。

    某些绝缘材料的击穿电压阈值

    (3)橡胶密封的大电流电极引入线如果通过的电流很大，则产生的焦耳热会使密封材料失效。此时，引入线应该采用水冷结构；

    (4)高真空系统的引入线应能承受450℃的烘烤；

    (5)应该避免各种金属蒸镀或溅射到引入线的绝缘材料上，以避免造成漏电短路、放电等问题。

    将电流输入到真空容器中去进行供电，在各种真空设备上是经常遇到的，对于金属真空设备来说，这种引线装置最好采用可拆卸的连接密封，这样便于维修。

(慧朴科技，huiputech)