真空系统密封程度分析及漏气率确定

    对真空设备或真空系统要求绝对不漏气是不可能的。因此对真空系统进行密封程度的分析，找出并消除大漏孔的存在，确保真空系统的正常运转，是真空技术工作中一项必不可缺的重要内容。

    如果真空系统经过一段较长时间抽气后，仍然达不到预期的真空度要求，其原因主要有三个方面，即真空泵性能不佳，达不到要求；系统内表面及真空室内构件的出气过大；真空室某部位存在漏孔。为了鉴别这些因素对真空度的影响程度，可采用静态升压法对真空系统进行检漏试验。其过程是，将真空室抽成真空，然后关闭真空阀使真空室与真空泵隔开，测量真空室内压强随时间的变化，即可得到如图所示的压强p随时间τ的变化曲线。

    直线a表明压强不随时间延长而变化，说明真空室既不漏气也不放气，如真空室内压强达不到设计要求，一定是泵的抽气性能不良，这时对系统是不需要检漏的；

    曲线b开始时压强上升而后逐渐趋向不变，这说明真空室内存在着放气源，如果是蒸汽，则压强值可达到其饱和蒸气压；

    斜线c显示压强随时间直线上升，说明真空室内存在着漏孔产生漏气；

    曲线d说明压强开始上升较快，后来变缓慢但不出现饱和现象，这说明真空室内同时存在放气和漏气两种气源，d的曲线部分是由于放气的存在，而直线部分只有漏气存在，这时放气已达到饱和状态。

    由于真空检漏技术中所指的漏孔是极其微小的，漏孔截面的形状很不规则，漏气的路径也各不相同，因此，通过漏孔的几何形状来表达漏孔的大小是不可能的。但是由于漏孔的本身就是漏气，即在压力差作用下，有气体通过漏孔流动，因此用漏气率来表示漏孔的大小是非常确切的。所谓漏气率，就是露点低于-25℃的空气，入口压力为标准大气压，出口压力低于10⁵Pa，温度为23℃±3℃时空气通过漏孔的流量。漏气率的量纲与流量完全相同，其单位通常用Pa·m³/s来表示。