不同材料在真空系统中的用途

金属及其合金

导电性

导线、电极

力学性能

壳体、管道、阀门和真空室内的支撑装置、运动传动

高熔点

高电阻率

加热元件

低逸出功

电子发射

塑性

密封垫圈

低熔点

动密封

化学活性

吸气剂、吸附剂

磁性能

磁性材料

热电性能

热电偶、热电阻

玻璃

电绝缘性、透光性、可吹制性

真空规管和电子管的外壳

透光性、可吹制性

玻璃真空系统

电绝缘性能

绝缘材料

透光性能

观察窗、紫外窗口

透微波、射频

放电室、窗口

陶瓷

电绝缘性能

绝缘材料

力学性能

支撑结构件

透微波、射频

窗口

云母

电绝缘性能

绝缘材料

石墨

熔点高、导电性和导热性能

真空炉的加热器、蒸发镀膜用的坩埚

金属化合物

润滑性能

超高真空系统润滑剂

低逸出功

热电子发射

吸附性能

吸附剂

活性炭

吸附性能

吸附剂

橡胶

弹性

密封垫圈、部件之间的软连接

塑料

电绝缘性能

绝缘材料

塑性

密封垫圈、部件之间的软连接

低摩擦系数

润滑剂

油

润滑密封性能

润滑剂、密封

高温时高气压

喷射流泵工作液

真空封脂

密封、润滑

活动连接处密封

真空封蜡

密封、低熔点

半永久密封

真空封泥

密封、塑性

常拆卸连接处密封、可疑漏气处堵漏

活性气体

化学活性

H₂、O₂、N₂、F₂、Cl₂等

惰性气体

化学惰性

He、Ne、Ar等

气体

含有需要元素

甲烷、乙炔、含硅、金属等的化合物