当固体材料放在气体中时,周围的气体分子就会溶解在固体表面层。它和固体内部原来溶解的气体不同。真空容器器壁两侧气体压力不同,其溶解的气体分子浓度也不同。
当器壁两侧的浓度不同时,气体分子就由浓度大的一侧向浓度小的一侧扩散,最后扩散到真空容器内壁放出,这个过程,称之为气体的渗透。
真空系统用的非金属材料如玻璃和有机材料,其离解度n=1,溶解气体分子的渗透速率和压差成正比。氦气通过玻璃有较大的渗透率,它直接影响极高真空的获得,因而极高真空系统不宜用玻璃或有机材料做器壁。
在金属材料中不溶解稀有气体,如氦、氖等,这对获得极高真空是有利的。双原子气体分子是在解离成原子后才溶解的。由不锈钢中放出的气体中,主要成分是氢。特别是经很好地去气以后,99%的残余气体为氢。因此,氢的渗透是获得极高真空的困难之一。
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