限制极限真空压力的因素（四）——返流

    真空泵体内的气体或蒸气流返回到真空室里的现象叫做返流。在极高真空系统中，由于真空室的压力低于抽气泵的极限压力，返流对极限压力的影响尤为显著。

    对极高真空系统来说，所有的真空泵都是气源。为了减少泵对真空室的返流，利用真空泵的抽气能力，在真空泵和真空室之间需连接一个阱以阻挡气体的返流。由于目前真空泵的极限压力较高，因此，在极高真空系统中，阱的设计是极为重要的。设计的重点在提高阱的捕获系数。

    在使用扩散泵的真空系统中，还有一个反扩散的问题。在扩散泵中气流不仅发生在抽气方向上，而且有少量的气体分子沿蒸气流的反方向流动，发生由低真空端向高真空端的扩散，这种现象叫做反扩散。反扩散的程度与扩散泵的压缩比有关，压缩比越大，反扩散越小，而压缩比又与气体质量有关，轻的气体压缩比要比重的气体小得多。对高真空系统来说，反扩散的影响并不重要，但对超高真空系统就必须考虑反扩散对极限真空的限制。如果采用扩散泵获得极高真空，就需要将两个扩散泵串联起来，使前级扩散泵降低主扩散泵的出口压力，因而降低了主泵的反扩散，实验证明，用这种方法可以改善极高真空系统的极限真空。