真空技术的典型应用

压强

水泵

分子密度

白炽灯泡，真空包装

平均自由程

电子显微镜，真空镀膜，加速器，激光，核聚变

分子入射频率

电子源，人工晶格

真空的化学特性及其应用

等离子反应

新材料合成，表面改性

分子解离吸附

化学气相沉积，原子沉积成膜，人工晶格

表面成膜

离子注入，硬质薄膜成长

表面清洁

表面刻蚀